Estudo da corrosão anisotrópica do silício em solução 1m de NaOH

Este trabalho foi realizado no LAMULT – Laboratório Multiusuários do Instituto de Física “Gleb Wataghin” da Unicamp e teve como objetivo o estudo da corrosão anisotrópica da superfície de silício em solução de 1.0 Molar de NaOH. O entendimento dos processos de corrosão em silício tem despertado inte...

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Bibliographic Details

Main Authors:	Lima, Jorge Luis, Lourenço, Airton
Format:	Online
Language:	Portuguese
Published:	Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP) 2016
Subjects:	Corrosão anisotrópica MEMS Silício Estudo da corrosão
Online Access:	https://econtents.sbu.unicamp.br/eventos/index.php/simtec/article/view/10340
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