Desenvolvimento de um Manipulador UHV para o dispositivo detector de luz de um LT-STM

Esse projeto visou concluir o protótipo de um manipulador UHV, o manipulador foi baseado em 5 eixos, dentre eles: 3 ortogonais X,Y e Z, movidos por transladores piezoelétricos; 1 referente à rotação na flange do tubo que suporta o manipulador; e 1 referente à inclinação no suporte dos piezos. O mani...

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Bibliographic Details

Main Authors:	Cruz, Raone Guedes Souza, Zagonel, Luiz Fernando, Auad, Yves
Format:	Online
Language:	Portuguese
Published:	Universidade Estadual de Campinas 2019
Subjects:	Manipulador UHV Instrumentação STM.
Online Access:	https://econtents.sbu.unicamp.br/eventos/index.php/pibic/article/view/1183
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