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Caracterização estrutural de filmes finos por técnicas de raios X

O trabalho que será apresentado é resultado de seis meses de aprendizado de tecnicas de raio-x aplicado no reconhecimento de filme fino sobre silício como substrato. Foram analizadas um conjunto de 7 amostras e sobre elas verificou-se a influência da relação de pulso/purga de DeZ e de água sobre o s...

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Bibliographic Details
Main Authors:	Barrera, Victor, Cardoso, Lisandro, Silva, Diego da, Júnior, Odilon Couto
Format:	Online
Language:	Portuguese
Published:	Universidade Estadual de Campinas 2019
Subjects:	Raios X Caracterização estrutural Filmes finos
Online Access:	https://econtents.sbu.unicamp.br/eventos/index.php/pibic/article/view/1865
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