Produção de filmes de ZnO por ALD (atomic layer deposition)

Filmes finos de ZnO tem várias aplicações em dispositivos eletrônicos como em diodos, transistores, dispositivos piezoelétricos e células solares. Neste trabalho desenvolvemos este material pela técnica ALD (Atomic Layer Deposition) utilizando um equipamento recém adquirido pelo laboratório de pesqu...

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Bibliographic Details

Main Authors:	Oliveira, Thiago Francisco Clementino de, Marques, Francisco das Chagas
Format:	Online
Language:	Portuguese
Published:	Universidade Estadual de Campinas 2019
Subjects:	Deposição Filmes finos Semicondutores.
Online Access:	https://econtents.sbu.unicamp.br/eventos/index.php/pibic/article/view/1318
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