Nano-oxidação do silício: influência dos processos de crescimento convencional e pirogênico na qualidade e na uniformidade dos óxidos finos obtidos em superfícies irregulares contendo degraus abruptos
Neste trabalho, foram crescidos filmes finos de óxido de silício sobre superfícies contendo formas retangulares periódicas com 100 nm de altura, obtidas a partir de corrosões por plasma localizadas. Os óxidos de silício (SiO2) com cerca de 4,5 nm de espessura foram crescidos em ambientes ultrapuros...
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| Main Authors: | Souza, R., Nogueira , W. A., Filho , S.G. dos Santos |
|---|---|
| Format: | Online |
| Language: | Portuguese |
| Published: |
Universidade Estadual de Campinas
2006
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://econtents.sbu.unicamp.br/inpec/index.php/physicae/article/view/13440 |
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