Desenvolvimento da corrosão do silício usando solução de NH4OH para a obtenção de nano fios de silício para aplicação em transistores 3D

Este trabalho apresenta o desenvolvimento da corrosão do Silício usando solução de NH4OH para obtenção de nano fios de Si (com dimensões menores do que 100 nm) que são usados como canal de condução de corrente elétrica de transistores FinFET, que são dispositivos MOS tridimensionais. As seguintes et...

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Bibliographic Details

Main Authors:	Zagati, Larissa, Diniz, Jose, Silva, Audrey, Zucchi, Lucas, Alvarez, Hugo, Cioldin, Frederico, Espindola, Luana, Vaz, Alfredo
Format:	Online
Language:	Portuguese
Published:	Universidade Estadual de Campinas 2019
Subjects:	Nano-fios de Si Transistores MOS Micro e nano fabricação
Online Access:	https://econtents.sbu.unicamp.br/eventos/index.php/pibic/article/view/2988
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