Análise elementar com filtro de energia (EFTEM) e seccionamento usando feixe de íons focalizado (FIB) em filme de tinta espesso
A análise elementar utilizando filtro de energia em um microscópio eletrônico de transmissão (TEM) é freqüentemente realizada em materiais seccionados entre 20 e 60 nm. Espessuras superiores a 60nm, para uma tensão de 80 kV, causam espalhamentos múltiplos dificultando o mapeamento elementar. A propo...
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| Main Authors: | , |
|---|---|
| Format: | Online |
| Language: | Portuguese |
| Published: |
Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
2016
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| Subjects: | |
| Online Access: | https://econtents.sbu.unicamp.br/eventos/index.php/simtec/article/view/9320 |
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