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Análise elementar com filtro de energia (EFTEM) e seccionamento usando feixe de íons focalizado (FIB) em filme de tinta espesso

A análise elementar utilizando filtro de energia em um microscópio eletrônico de transmissão (TEM) é freqüentemente realizada em materiais seccionados entre 20 e 60 nm. Espessuras superiores a 60nm, para uma tensão de 80 kV, causam espalhamentos múltiplos dificultando o mapeamento elementar. A propo...

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Bibliographic Details
Main Authors:	Leite, Carlos Alberto Paula, Galembeck, Fernando
Format:	Online
Language:	Portuguese
Published:	Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP) 2016
Subjects:	EFTEM ESI FIB Análise elementar
Online Access:	https://econtents.sbu.unicamp.br/eventos/index.php/simtec/article/view/9320
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